摘要
0604332 多探针扫描隧道显微镜硅尖结构微制备=Microfabri- cation of silicon tip structures for multiple-probe scanning tunneling microscopy[刊,英]／M．Bale and R．E． Palmer／／Journal of Vacuum Science&Technology B．- 2002,20(1)．-364(E)
出处
《电子科技文摘》
2006年第2期98-99,共2页
Sci.& Tech.Abstract
