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接插元件、继电器、开关、熔断器

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摘要 0611411 斜拉梁结构的RF-MEMS开关制作研究[刊,中]/宣云//微细加工技术.-2005,(3).-48-52(D) 介绍了一种新型斜拉梁结构的电容耦合式开关的制作。
出处 《电子科技文摘》 2006年第5期14-14,共1页 Sci.& Tech.Abstract
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