摘要
通过对新型椭圆偏振光谱仪MM-16原理和应用的研究,浅析MM-16的特点及优势。
By discussing about the theory and application of MM-16 Liquid Crystal Modulation Ellipsometer, we show the specialty and advantage of MM-16.
出处
《现代科学仪器》
2005年第3期85-88,共4页
Modern Scientific Instruments
关键词
椭偏
液晶
相位调制
ellopsometer
liquid crystal
phase modulator
