KLA-TENCOR发布基于业界首个全光谱超宽带检测平台的明场检测系统

为帮助客户应对亚65纳米及45纳米技术节点上新产生的缺陷和成品率挑战，KLA-Tencor近日发布了最新的突破性明场晶片检测平台2800系列，它能有效地检测出所有工艺层上的最广泛的关键性缺陷。