摘要
介绍溅射和丝网印刷法制造的MgO膜的特点以及工艺参数对膜特性的影响。
The Characteristics of MgO layer prepared by sputtering and screen-printingmethod are described. The effect of processing parameters on the characteristics of the layer ispresented.
出处
《光电子技术》
CAS
1996年第1期24-29,共6页
Optoelectronic Technology
关键词
溅射法
丝网印刷
保护膜
氧化镁膜
光电器件
MgO layer,sputtering method,screen-printing method, MgO protective layer
