三维轮廓干涉条纹移相技术中误差补偿的研究

Study of Error Compensation of Interference Fringe Phase-shifting Technique of Three Dimen sions Profile

本文提出了一种基于干涉条纹移相原理的非接触式表面形貌测量方法，并建立了干涉显微镜──微机检测三维轮廓成像系统。探讨分析了多步移相检测原理与方法，以及误差补偿的方法，并编制了相应的补偿软件，一该检测系统使普通的６ＪＡ型干涉显微镜，在技术上大大提高了档次，使其成为高品质与高功能的检测系统。