高Tc超导红外探测器与焦平面列阵(Ⅲ)

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摘要由于实际应用,多元列阵和焦平面列阵的研制更吸引入,可以说,应用微结构工艺是很容易制成高Tc超导多元探测器的,如Honeywell公司的1×12元线阵已进行了空间环境试验.它们用掩膜方法制备了1

作者刘心田石保安吴增烈汤定元

机构地区中国科学院上海技术物理所

出处《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第1期60-62,共3页 Chinese Journal of Sensors and Actuators

关键词红外探测器焦平面列阵高TC超导

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传感技术学报

1996年第1期

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