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用微机械加工技术制备小型C1ark型氧传感器
被引量:
2
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摘要
为缩减常规Clark型氧电极体积,以适用于在体、在位应用.日本I.Karube和S.Suzuki在1983年首次采用微机械加工技术和微电子平面工艺将Clark型氧电极制成了小型Clark型氧传感器.又经重要改进,研制成功葡萄糖传感器.
作者
朱建中
蒋惠英
陆德仁
机构地区
中国科学院上海冶金研究所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1996年第1期68-70,共3页
Chinese Journal of Sensors and Actuators
基金
国家自然科学基金(NO.29170239)
中国科学院传感技术国家重点实验室资助课题
关键词
氧传感器
传感器
微机械加工
Clark型
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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传感技术学报
1996年 第1期
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