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用微机械加工技术制备小型C1ark型氧传感器 被引量:2

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摘要 为缩减常规Clark型氧电极体积,以适用于在体、在位应用.日本I.Karube和S.Suzuki在1983年首次采用微机械加工技术和微电子平面工艺将Clark型氧电极制成了小型Clark型氧传感器.又经重要改进,研制成功葡萄糖传感器.
出处 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第1期68-70,共3页 Chinese Journal of Sensors and Actuators
基金 国家自然科学基金(NO.29170239) 中国科学院传感技术国家重点实验室资助课题
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  • 1董永贵.石英谐振式湿度传感器湿敏机理及器件研究(博士论文)[M].北京:清华大学,1994..
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引证文献2

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