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矩形硅杯绝对压力传感器的研制
被引量：
1
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摘要
绝对压力传感器大量应用于环境压力检测、海拔高度测量、大气数据处理、地球物理研究、海底测量等领域.尤其是近年来在汽车行业中的大量应用,使性能好、价格低。
作者
朱作云
李跃进
王文襄
郭源生
王麦广
机构地区
西安电子科技大学微电子研究所
宝鸡秦岭晶体管厂
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1996年第1期71-74,共4页
Chinese Journal of Sensors and Actuators
关键词
绝对压力
压力传感器
传感器
分类号
TH812 [机械工程—精密仪器及机械]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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传感技术学报
1996年 第1期
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