微机电系统辅助微量探测

MEMS（微机电系统）具有解决专门问题的多功能性，Sandia国家实验室正在继续进行这种多功能性的验证。那里的研究人员设计出了一种先进的气体取样过程，它利用皮升体积的气体来测试MEMS（微机电系统）装置中的空气是否纯净（见图）。