用有机金属先驱粒子实现硅,锗和锡的氮化物薄膜的PECVD
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1刘敏,解宇,孔凡让.磁过滤真空阴极弧沉积技术制备及在刀具上的实验[J].制造技术与机床,2012(12):133-135. 被引量：1
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2段新超,王小平,王丽军,王隆洋,张雷.平板显示用场发射冷阴极材料[J].材料导报,2008,22(1):8-12. 被引量：3
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3王齐伟,左秀荣,黄晓辉,史新伟,倪培相.直流磁控溅射在铝衬底上沉积(Ti_xAl_y)N薄膜及其性能研究[J].真空科学与技术学报,2008,28(4):351-354. 被引量：5
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4冯兴国,唐光泽,马欣新,孙明仁.(ZrTANbTiW)N薄膜组织结构与机械性能研究(英文)[J].稀有金属材料与工程,2013,42(S2):41-45.
