同步辐射加速器反射镜的加工与检测

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摘要用于同步辐射聚焦的金属反射镜,在形状和表面粗糙度方面必须满足很高的要求,为加工这种反射镜,采用单晶金刚石刀具高精密车铣加工.有的反射镜的几何尺寸超出车床的工作范围.这时,可用铣削加工使其轮廓近似理想的精度.反射镜几何形状的检测,用的是高精密坐标测量仪.

作者大舟

出处《光机电信息》 1996年第7期17-20,共4页 OME Information

关键词同步辐射加速器反射镜检测

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光机电信息

1996年第7期

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