“水窗”波段3.1～4.4nm用X射线多层膜反射镜的结构与光学性能

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摘要软X射线多层膜技术从八十年代起发展至今,对于10nm以上波段制备技术已趋成熟.但是,开发制备高性能水窗波段(2.4～4.4nm)用正入射多层膜反射元件对于现代技术仍然是一大挑战.周期极小(1.2～2.2nm)的X射线多层膜反射镜对界面粗糙度和层间扩散渗透有极其苛刻的要求.

作者张俊平

出处《光机电信息》 1996年第8期1-5,共5页 OME Information

关键词 X射线多层膜反射镜光学性能

1吕俊霞.提高X射线多层膜反射镜的热和辐射稳定性[J].光机电信息,1996,13(8):9-14.
2黄文忠,李英骏,谷渝秋,张杰,尤永禄,淳于书泰,何颍玲,雷安乐,陈正林,马月英,金春水.中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量[J].物理学报,2003,52(4):809-812. 被引量：2

光机电信息

1996年第8期

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