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提高X射线多层膜反射镜的热和辐射稳定性
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摘要
本文介绍的是Kharkiv州立工业大学金属与半导体物理系在提高X射线多层膜的热和辐射稳定性方面的研究成果.2.为提高1—30nm波段软X射线多层膜稳定性,多层膜材料对的选择非平衡多层膜最基本的劣化机制是:不同材料的膜层间的扩散、混合形成固体、液体或化合物等成分.伴随着多层膜周期厚度的减小,膜层间的扩散混合对多层膜反射镜性能的影响增大.
作者
吕俊霞
出处
《光机电信息》
1996年第8期9-14,共6页
OME Information
关键词
X射线
多层膜反射镜
辐射
稳定性
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
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1
张俊平.
“水窗”波段3.1~4.4nm用X射线多层膜反射镜的结构与光学性能[J]
.光机电信息,1996,13(8):1-5.
2
黄文忠,李英骏,谷渝秋,张杰,尤永禄,淳于书泰,何颍玲,雷安乐,陈正林,马月英,金春水.
中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量[J]
.物理学报,2003,52(4):809-812.
被引量:2
光机电信息
1996年 第8期
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