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CVD金刚石膜激光切割工艺研究 被引量：3

Technical Study on Laser Cutting Technology of CVD Diamond Film
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摘要 研究了焦点位置、输出功率和不同气体切割环境对金刚石膜切割的影响,给出了采用NdYAG激光器切割金刚石膜的具体方法。 The influences of focus position, output power and different gas to diamond film cutting are studied. The cutting technology of diamond film with Nd： YAG laser is discussed.
作者 王亚 汪建华 王传新 王俊峰
机构地区 武汉化工学院材料科学与工程学院 武汉化工学院
出处 《工具技术》 北大核心 2005年第9期38-40,共3页 Tool Engineering
关键词 ND:YAG激光器 金刚石膜 切割 CVD金刚石膜 激光切割 工艺研究 ND:YAG激光器 焦点位置 输出功率 Nd： YAG laser, diamond film, cutting
分类号 TG485 [金属学及工艺—焊接] TB43 [一般工业技术]
  • 相关文献

参考文献2

二级参考文献3

共引文献7

同被引文献24

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引证文献3

二级引证文献6

工具技术
2005年 第9期

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