双频激光干涉仪的原理与应用（四）被引量：2

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摘要双频激光干涉仪的原理与应用（四）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民三、双频激光干涉仪的派生应用双频激光干涉仪在机床检定中的应用是双频激光干涉仪的基本功能，无需对仪器作任何改动即可实现。双频激光干涉仪同时又是一种高精度的长度传感器，可以直接安装...

作者羡一民

机构地区机械部成都工具研究所

出处《工具技术》北大核心 1996年第7期41-45,共5页 Tool Engineering

关键词干涉仪双频激光干涉仪

同被引文献10

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工具技术

1996年第7期

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