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双频激光干涉仪的原理与应用（三）

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摘要双频激光干涉仪的原理与应用（三）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民３．垂直度测量垂直度测量使用直线度干涉仪附件，在测量垂直方向时，需增加一些转向光学附件，如图１０所示。图１０垂直轴线直线度测量示意图１、激光头２．转向平面镜３．往复反射镜４．夜...

作者羡一民

机构地区机械部成都工具研究所

出处《工具技术》北大核心 1996年第6期43-45,共3页 Tool Engineering

关键词干涉仪双频激光干涉仪

分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]

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工具技术

1996年第6期

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