半导体制造工艺中的静电问题

随着半导体器件的微细化设计的进展，我们必须极深刻的地重新认识静电问题，因此。本文在过去半导体制造工艺中的静电问题基础上，结合国内外的文献资料，主要介绍静电问题的所在及其概况。