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超精密机床激光干涉测量系统误差分析及补偿
被引量：
3
Error Analysis and Compensation of Laser Interferometer Measuration System of Ultraprecision Machine Tools
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摘要
详细分析了超精密机床加工中,激光测量系统误差组成及其产生机理,给出了有效的修正和补偿手段。影响激光测量系统精度和重复精度的主要误差因素可分为3类:内部误差、环境误差和安装误差。通过实例分析精密机床四轴激光测量系统,设计出了四轴激光测量光路,实现超精密工作台的X、Y、Rz三自由度位置反馈,给出了影响测量精度的误差因素以及对系统精度的影响大小。
作者
于宝成
王春梅
机构地区
华中科技大学机械学院
武汉化工学院计算机系
出处
《机械制造》
2005年第10期63-65,共3页
Machinery
关键词
激光测量
误差补偿
定位精度
测量精度
分类号
TG502.13 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
P225.2 [天文地球—大地测量学与测量工程]
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