摘要
详细地介绍了超窄带滤光片的制作技术。讨论了在基底材料选择、膜系设计以及膜厚监控等方面要求的特殊性,并给出了一些滤光片设计和监控的要求。它在空间遥感尤其是在闪电探测方面具有重要的作用。
Preparation technique of ultranarrow bandpass optical thin film filters has been described in detail. The particular requirement on substrate materials selecting, thin film structure design and monitor and control of thin film thickness has been discussed.
出处
《真空与低温》
2005年第3期125-130,共6页
Vacuum and Cryogenics
关键词
超窄带滤光片
基底材料
设计
监控
ultra- narrow band pass filter
substrate material
design
monitor and control