特种长光栅尺高真空镀膜机的研制
Research and manufacture of vacuum depositor with special long optical grating ruler
摘要
用于特种长光栅尺镀膜的ZZ-600W高真空蒸发镀膜机的主要技术指标、结构及性能,并给出了典型的镀膜工艺参数。
出处
《通用机械》
2005年第10期44-46,共3页
General Machinery
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