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扫描电镜用图像采集系统的设计 被引量:1

Design of Image Sampling System Used in SEM
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摘要 介绍了一种用FPGA(现场可编程门阵列)技术设计的新型图像采集系统,该系统可用于改进图像采集功能欠缺的老型号扫描电镜。设计方案采用可编程芯片FP-GA对系统进行逻辑控制,编写不同的程序即可广泛应用于其他图像的采集。选用TI公司的ADS1606作为模数转换的核心芯片,介绍了ADS1606的输入驱动电路、参考源电路以及为其设计的仪表放大调整电路,并给出了FPGA的控制工作流程和用Verilog HDL(硬件描述语言)编写的部分程序。同时,还对电路设计的注意事项做了详细的说明。 A new image sampling system with FPGA is designed to improve the data sampling part of the old model SEM (scanning electron microscope). The design performes the logical control of the system by using FPGA. It used ADS1606 of TI Corp. as the analog-digital converter chip. The instrument amplifier, driving circuit and reference sources circuit are suitably designed according to the imaging signal. The control process of FPGA and some program edited with Verilog HDL are presented. Also, some considerations of the circuit
出处 《微细加工技术》 EI 2005年第3期9-13,共5页 Microfabrication Technology
关键词 扫描电镜 图像采集 FPGA VERILOG HDL SEM (scanning electron microscope) image sampling FPGA Verilog HDL
  • 相关文献

参考文献4

  • 1陈长琦,干蜀毅,朱武,王先路.扫描电子显微镜成像信号分析[J].真空,2001,38(6):42-44. 被引量:7
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  • 3蒋璇 藏春华.数字系统设计与PLD应用技术[M].电子工业出版社,2000..
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