晶圆与光罩检测中外厂商争雄 SEMICON Taiwan 2005特别报导(二)

在晶圆与光罩检测领域,如同其它半导体设备领域,传统上都是外商天下。但随着两岸半导体业的聚落形成,本地的设备供货商在政策保护与地利之便的优势之下,也渐渐形成一股新势力。而在晶圆与光罩检测领域,同时具备光学检测与电子束检测技术的外商如KLATencor与专精于电子束检测技术,从设备代理业跨足研发制造的台湾汉民科技,正是这个趋势的缩影。