微生物加工微细构件的问题分析和研究

下载PDF

导出

摘要介绍生物刻蚀过程中,具有精细抗蚀膜图形的基体样件的制作,并论述在后续生物刻蚀实验中发现的诸多问题以及对加工结果产生的影响。通过对问题分析,找到合适的解决办法,以便改善生物刻蚀加工微小构件的质量。

作者孟珺遐

机构地区天津职业大学机电工程与自动化学院

出处《现代制造工程》 CSCD 2005年第10期109-111,共3页 Modern Manufacturing Engineering

关键词微细加工光刻生物刻蚀

参考文献4

1张德远,李雅芹,孙以凯.生物加工金属材料的可行性研究　[J].中国科学（C辑）,1997,27(5):410-414. 被引量：12
2Matsuda TH.Surface process technology:its application to medico-micromachines[J].Japan Soc PrecEngng,1990(12)
3李光宇.光化学用于精细加工的研究[C].沈阳:东北大学出版社,2000..
4刘镔,马萍,金平.半导体平面工艺在金属微细加工中的应用[J].材料科学与工艺,1994,2(2):113-115. 被引量：1

1Raymond F. Decker. Biotechnology/materials: The growing interface[J] 1986,Metallurgical Transactions A(1):5～30

1陈博,蔡军,张德远.金属化微生物细胞镀层导电性研究[J].材料工程,2005,33(12):26-29. 被引量：1
2辛洪兵.微系统快速生物制造的可行性[J].北京工商大学学报（自然科学版）,2007,25(2):17-21.
3张文强,陈博,詹天卓,张德远.生物型吸波微粒的制备[J].功能材料,2009,40(5):826-829. 被引量：4
4张德远,李雅芹,吴依陶.生物加工纯铜的动力学与热力学研究[J].中国科学（C辑）,1999,29(2):132-137. 被引量：7
5刘玉德,王西彬,石文天,杨玥,张翔.氧化亚铁硫杆菌的诱变机理研究[J].北京理工大学学报,2010,30(7):869-872. 被引量：2
6李雅芹,张德远,吴依陶.氧化亚铁硫杆菌对金属铜的加工[J].微生物学报,2000,40(3):327-330. 被引量：8
7林种玉,周朝晖,吴剑鸣,程琥,刘碧兰,倪子绵,周剑章,傅锦坤.地衣芽孢杆菌R08吸附和还原钯(Pd^(2+))的研究[J].科学通报,2002,47(5):357-360. 被引量：8
8黎向锋,蔡军,张德远,李雅芹.微生物细胞金属化工艺研究[J].中国科学（E辑）,2002,32(3):338-342. 被引量：9
9雷冠雄,孙炜海,陈红迁,陈学荣,薛春芳.温度对嗜酸氧化亚铁硫杆菌腐蚀Q235碳钢和HT150铸铁的影响[J].装甲兵工程学院学报,2017,31(1):95-98.
10孟珺遐,王西彬,孙智杰,张利刚.生物刻蚀金属制作微小三维结构[J].微细加工技术,2003(1):5-8. 被引量：2

现代制造工程

2005年第10期

内容加载中请稍等...