电子束沉积ZrO2—SnO2薄膜
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3郝殿中,韩培高,马丽丽,苏富芳,宋连科.基板温度对电子束沉积LaF_3薄膜残余应力的影响[J].曲阜师范大学学报（自然科学版）,2011,37(1):48-50. 被引量：1
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