射频溅射技术在ISFEET中的应用
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4于威,许贺菊,张丽,滕晓云,张锦川,傅广生.氧分压对Zno薄膜结构、光学和电学特性的影响[J].稀有金属,2007,31(z1):25-28. 被引量:1
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