MEMS的无生产线模式设计与实现

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摘要介绍国外主流MEMS设计与实现的形式,简要概述目前应用于MEMS设计的几种主要EDA软件,给出利用一种EDA软件设计、利用多项目晶圆模式(MPW)实现的一个MEMS器件。

作者黄继伟王志功孟桥李宏生王蓉

机构地区东南大学射频与光电集成电路研究所

出处《中国集成电路》 2005年第10期75-82,共8页 China lntegrated Circuit

基金 863计划支持研究项目:2002AA312230

关键词 MEMS器件模式设计生产线 EDA软件软件设计

参考文献12

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中国集成电路

2005年第10期

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