同步加速器独立远紫外线显微镜

下载PDF

导出

摘要德国费拉恩豪佛法理社会公司开发出一种分辨率达50nm的同步加速器独立远紫外线（EUV）显微镜。该仪器是专门为半导体工业开发的，因为半导体工业正在发展波长11nm～14nm的EUV激光束集成电路。激光束是由同步加速器产生的。EUV显微镜与同步加速器独立，因为其通过脉冲等离子源产生自身的EUV辐射，功率很小。光学系统由聚光器、

作者爱莲

出处《军民两用技术与产品》 2005年第10期29-29,共1页 Dual Use Technologies & Products

关键词同步加速器远紫外线显微镜半导体工业工业开发集成电路 UV辐射等离子源光学系统

分类号 TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学] TL544 [核科学技术—核技术及应用]

引文网络
相关文献

1新计算机芯片设备研制成功[J].中国电子商情（元器件市场）,2002(5):10-10.
2Daniel L.Flamm,莫铭.等离子源及腐蚀技术发展趋势[J].微电子学,1991,21(4):55-59.
3郑淮斌,张彦鹏,聂志强,李昌彪,宋建平,李创社,卢克清.Observation of the near transform-limited high-resolution tunable far-ultraviolet light[J].Chinese Physics B,2009,18(7):2729-2733.
4沈培宏.在150mA时发光效率为1001m／W的白色LED[J].光电技术,2007,48(4):24-25.
5日本新开发出防LED故障双向晶闸管[J].现代显示,2010(8):62-62.
6刘静霞,孙树萍.核能技术发展的回顾与展望[J].化学教育,2000,15(3):21-24. 被引量：2
7Selective Enhancement of a Single Harmonic Emission[J].Bulletin of the Chinese Academy of Sciences,2013,27(4):201-201. 被引量：1
8魏涛,李一丁,杨国君,庞健,李煜辉,李鹏,Joachim Pflueger,何小中,卢亚鑫,王科,龙继东,章林文,吴强.An accelerator scenario for a hard X-ray free electron laser combined with high energy electron radiography[J].Chinese Physics C,2016,40(8):166-173. 被引量：2
9孙别和,陈勤.双等离子源强流束特性的研究[J].核技术,1991,14(12):731-737. 被引量：6
10应用材料公司改进刻蚀技术，降低TSV（硅通孔）制造成本[J].电子工业专用设备,2010(12):56-57.

军民两用技术与产品

2005年第10期

浏览历史

内容加载中请稍等...

同步加速器独立远紫外线显微镜

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史