LSI器件的分析技术

1 概要在LSI器件中,为了达到高可靠性水平和保证高质量,必须在深入了解器件原有的特性的同时,还要正确认识器件目前所处的环境状态,以及要预测器件在什么样的环境中使用和采取什么方法来保证其可靠性等未来情况。这就是说,正确了解器件的构成材料和制造工艺的现状是很重要的.随着器件朝着微细化、极薄型化的方向迅速发展,采用正确的分析技术以及根据产品相应的分析数据迅速作出反馈,不断改进工艺,是保证器件可靠性的重要手段。