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激光等离子体软X射线量的初步测量
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摘要
研制了一种脉冲重复频率为10HZ的激光等离子体软X射线源。采用X射线能量计对光源的单脉冲X射线能量进行了测量并讨论了其结果。
作者
郭玉彬
出处
《LSI制造与测试》
1996年第1期22-25,共4页
关键词
软X射线
激光
等离子体
转换效率
测量
分类号
O434.1 [机械工程—光学工程]
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LSI制造与测试
1996年 第1期
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