低温多晶硅薄膜晶体管-液晶显示器用高压退火装置

近年来，多晶硅薄膜晶体管-液晶显示器获得开发，并日趋批量化生产。为进一步提高低温多晶硅薄膜晶体管的性能，实现其品质均匀化，日本石川岛播磨重工业株式会社开发了上述液晶显示器用高压退火装置。着重介绍了该高压退火装置的设备概要、技术参数和多晶硅薄膜的氧化实验。