替代CFC－113清洗工艺的发展动向

主要介绍国内外替代ＣＦＣ－１１３（氟里昂）清洗工艺的原因，美日对此工艺研究进展情况，国内替代ＣＦＣ－１１３清洗工艺研究也在进行之中，替代ＣＦＣ－１１３清洗工艺势在必行。