阳极短路GTO制造工艺的研究

阳极短路型门极可关断（ＧＴＯ）晶闸管制造技术的关键工艺是短路区的制作。实验证明，短路区的制作可以用先选择性扩散Ｎ＋层，然后再扩散镓的方法来实现。通过扩散工艺的精确控制，以调节短路电阻，从而获得电特性的优化。