面向石化等重要行业的MEMS压力传感器
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1陈得民.机动车MEMS压力传感器电磁兼容测试[J].上海计量测试,2015,42(2):34-37. 被引量：1
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2意法半导体推出全新MEMS压力传感器[J].集成电路通讯,2014,0(2):16-16.
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3柳林刚,李荣宽,赵路坦.MEMS压力传感器电容读出电路[J].微电子学与计算机,2016,33(12):121-124.
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4适用于重型工业和汽车的MEMS压力传感器[J].今日电子,2017,0(1):93-94.
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5张子鹤,刘振华,陈勇,卢云.压力传感器的硅玻静电键合[J].世界科技研究与发展,2011,33(2):268-270. 被引量：1
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6陈继超,赵湛,杜利东,刘启民,肖丽.利用银锡共晶键合技术的MEMS压力传感器气密封装[J].纳米技术与精密工程,2013,11(2):174-178. 被引量：5
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7MEMS专家Knutti和Allen联手创办AcuityIncor-porated[J].微纳电子技术,2008,45(12):741-741.
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8戴霞娟,王鸣.FFT与CZT联合算法用于光纤法布里珀罗传感器解调[J].南京师范大学学报（工程技术版）,2008,8(1):88-92. 被引量：2
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9郭江.一种用于压力传感器的温度控制系统设计[J].现代电子技术,2010,33(14):157-158.
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10杨旸,闵云龙,沈强,张兆华,刘理天,余志平.基于MEMS压力传感器的外置式数字胎压监测系统[J].传感技术学报,2010,23(9):1347-1352. 被引量：12
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