摘要
叙述了340光刻机发生畸变的原因,并解释了什么是交叉畸变,什么是扫描畸变,并对如何进行两台340光刻机的匹配进行了探讨.最后给出了试验数据.
This article introduces the reason why there＇s existing the distortions of the micro align models and explains what is cross distortion and scan distortion 340 and how to match the different “340”.
出处
《辽宁大学学报（自然科学版）》
CAS
2005年第4期348-349,共2页
Journal of Liaoning University：Natural Sciences Edition
基金
辽宁省科技厅自然科学基金(002021)
辽宁省教育厅自然科学基金(20021076)
关键词
扫描畸变
交叉畸变
匹配
scan distortion
cross distortion
match.
