等离子体增强的电化学表面陶瓷化工艺技术（PECC技术）

Process of Plasma Enhanced Electrochemical Surface of Ceramic Film

本文介绍一种全新的铝、钛、铌、锆、钽等阀金属和半导体硅、镓、锗等表面处理技术，通过在电解质中等离子体弧光放电增强的电化学反应和热化学反应，在工件表面得到一特性优异的陶瓷膜层。其工艺较传统的阳极氧化工艺简单，处理时间短，膜层性能优异，花色品种多，镀液的污染极小，易于形成自动化生产。本文还介绍了等离子放电的一些理论问题。

A new process on plasma enhanced electrochemical surface of ceramic film was introduced in this paper,and some theory about plasma discharge was also presented.