超精密平面磨削关键技术的探讨

Study on Key Techniques of Super-Precision Surface Grinding

本文论述了超精密加工的重要性,提出了超精密平面磨削的技术指标,并分析了实现这些指标的主要技术要求,继而提出了实现这些技术要求的设想与方法。