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专利名称:有机发光组件的沉积设备
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摘要
本实用新型涉及一种有机发光组件(organic light emitting device;OLED)的沉积设备,该设备具有一基板传输系统以及至少一腔体,其特征在于该基板传输系统为一圆形转盘状,该腔体以一特定的顺序围绕在该基板传输系统的周围,利用该基板传输系统依一圆周方向转动,传送至少一基板至该腔体内进行沉积,以形成至少一镀膜于该基板之上,以制作至少一有机发光组件。
机构地区
台湾省铼宝科技股份有限公司
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2005年第6期27-27,共1页
Surface Technology
关键词
沉积设备
有机发光
组件
专利名称
传输系统
DEVICE
LIGHT
实用新型
基板
腔体
分类号
TN943.6 [电子电信—信号与信息处理]
TP271 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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表面技术
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