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专利名称:有机发光组件的沉积设备

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摘要 本实用新型涉及一种有机发光组件(organic light emitting device;OLED)的沉积设备,该设备具有一基板传输系统以及至少一腔体,其特征在于该基板传输系统为一圆形转盘状,该腔体以一特定的顺序围绕在该基板传输系统的周围,利用该基板传输系统依一圆周方向转动,传送至少一基板至该腔体内进行沉积,以形成至少一镀膜于该基板之上,以制作至少一有机发光组件。
出处 《表面技术》 EI CAS CSCD 2005年第6期27-27,共1页 Surface Technology
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