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硅芯片技术发展特点及前景
被引量：
4
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摘要
硅微电子器件是现代信息技术的重要基础，近３０年来，硅芯片集成度和性能以指数规律（“穆尔规则”）持续发展。单元器件微小型化（以“小”求“大”）和不断革新与完善的微细加工技术（以“新”求“小”）是硅芯片迅速进步的主要关键和途径。硅芯片正向千兆元件高集成度和千兆赫高速度发展。在研究、开发、生产和应用密切结合的基础上，硅芯片在２０００年前后将继续迅速进步。
作者
李炳宗
机构地区
复旦大学电子工程系
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第4期11-19,共9页
Semiconductor Technology
关键词
硅芯片
集成电路
微小型化
穆尔规则
分类号
TN303 [电子电信—物理电子学]
TN403 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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