摘要
介绍了近年内以全Si光电子集成为主要目标的Si光子学研究在各类Si光子器件,如发光二极管、激光器、光探测器、光调制器以及光子晶体等方面所取得的一些最新进展,预计全Si光电子集成技术有望在未来10年内得到突破性的进展。
We review some new progress on Si photonic devices, lasers, light detectors, light-modulators and photonic crystals with It is with the expectation to have the breakthrough progress in the such as light-emission diode, all-Si optoelectronic integration. future lO years.
出处
《微纳电子技术》
CAS
2005年第12期537-540,553,共5页
Micronanoelectronic Technology
