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摘要 KLA—TENCOR DesignScan设计检测方案面向光刻挑战；Cirrus Logic为CS4961XX系列添加图形编程工具。

出处《电子设计应用》 2005年第12期143-144,共2页 Electronic Design & Application World

关键词 KLA—TENCOR公司芯片光刻制程工艺参数化设计在线检测

分类号 TN492 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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电子设计应用

2005年第12期

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