摘要
通过对离子注入机离子源灯丝绝缘子的结构、尺寸、实际工作效果等方面的分析,提出了一种注入机离子源灯丝绝缘子的优化设计。该方案减少了离子源因绝缘效果不良引起的系统工作不稳定故障,灯丝使用寿命延长至50 h以上。
Based on the analysis of the structure, size, and actual work efficiency of an ion source filament insulator in ion implantation system, an optimization design of the filament insulator is presented. This scheme reduces the instability of the ion implanter caused by poor insulation of the ion source. And with the optimal design, the filament life ean be extended beyond 50 hours.
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期686-688,692,共4页
Microelectronics
