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新型多弧离子镀膜机自动控制系统 被引量:1

A New Multi-Arc Ion Plating Automatic System
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摘要 利用工控机(IIC)和PLC研制成了新型多弧离子镀膜机自动控制系统,该控制系统可以实现镀膜工艺过程的自动控制。工控机设定技术参数后进入监控状态,实时监测控制PLC的工作状态;PLC控制现场设备的运行,并将现场各泵阀等设备的工作状态传给工控机。系统可靠性高,人机交互好,实现了多弧离子镀膜的自动控制。 A new multi-arc ion plating automatic system consisted of IIC and PLC is introduced. After setting the technique parameters, IIC begins to monitor and control PLC. The running equipments such as pumps and valves and etc are controlled by PLC, at the same time, their states are reported to IIC. The system is chiefly characterized by high reliability and good human-machine interface. The auto-controlling of multi-arcion plating is realized.
出处 《真空电子技术》 2005年第5期19-23,共5页 Vacuum Electronics
关键词 镀膜机 PLC 工控机 协议宏 Plating machine PLC Industrial controlling computer Protocol macro
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