用CVD法制作金刚石部件

日本昭和电工公司从1983年起,在科学技术厅无机材料研究所的指导下,开展CVD法合成金刚石的基础研究,进行了制造技术的开发工作。采用低压气相法合成金刚石已被认为是可行的,但由于基体材料与金刚石的热膨胀系数不同,易出现错位和龟裂,因此,目前大都只能制作平面型部件,制造形状复杂的部件还有困难。