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微电子工业与洁净技术的发展 被引量：1

The Development of Microelectronics Industry and Contomination Control Technology
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摘要 苏净集团苏州净化空调系统设备安装有限公司姜伟康☆章汝熙摘要介绍微电子技术的特点与应用领域,以及对微环境系统与洁净技术的要求。 The specificity and applied field of microelectronics technolegy, and the requirements for minienvironment system and contamination control technology are introduced.
作者 姜伟康 章汝熙
机构地区 苏净集团苏州净化空调系统设备安装有限公司
出处 《洁净与空调技术》 2005年第4期21-28,共8页 Contamination Control & Air-Conditioning Technology
关键词 微电子工业 微环境系统 集成电路 洁净技术 微电子技术 Microelectronics industry Minienvironment system IC Contamination control technology
分类号 TU831.8 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
  • 相关文献

参考文献10

  • 1Heinz Schneider,Peter Fabian,Alfred Honold,and Werner Scheler:“Particle Contamination Optimization of 200mm SMIF Robots”.
  • 2Heinz Schneider,Peter Fabian,Rita Sczepan,Susnne Hollemann,and Alfred Honold:“Air Flow Modeling and testing of 300mm MINIENVIRONMENT/LORD PORT SYSTEMS”.
  • 3Sheng-Bai Zhu and Ray Martin:“Fundamentals of Isolation Technology”.
  • 4江苏苏净集团公司.《九五》国家重点科技攻关项目“标准机械接口(SMIF)系统设备的研制”可行性论证报告[R].,..
  • 5江苏苏净集团公司.《九五》国家重点科技攻关项目“灵敏跟踪系统(STS)设备的研制”可行性论证报告[R].,..
  • 6胡雨燕,徐文华,范存养.洁净技术的现代趋势—SMIF/微环境技术[J].洁净与空调技术,1999(2):34-40. 被引量：5
  • 7胡雨燕.SMIF/微环境系统及其气流的数值模拟[Z].,..
  • 8中国电子学会洁净技术分会.专家讲稿汇编[Z].,..
  • 9北京大学微电子研究院 王阳元院士.历史机遇和我国微电子发展之路[Z].,..
  • 10白丁 潘坚.纳米技术在航天工程中的应用及其展望[Z].,..

二级参考文献2

共引文献4

同被引文献13

引证文献1

洁净与空调技术
2005年 第4期

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