硅的各向同性腐蚀
The Silicon Isotropic Etching
摘要
硅的各向同性腐蚀，是指对硅的不同晶面具有相同腐蚀速率的一种硅加工工艺。其腐蚀示意图如下：
出处
《导航与控制》
2005年第4期20-20,共1页
Navigation and Control
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