硅微陀螺驱动模态

The Drive Mode of A silicon Micromechanical Gyroscope

硅微陀螺在驱动力作用下的振动模态称为驱动模态。硅微陀螺驱动模态可以用二阶线性自由振动系统来近似描述。其运动方程为[M]{U}＋[K]{U}=0其中，[K]是刚度矩阵，[M]是质量矩阵，{U}为位移向量，对于线性系统的自由振动为简谐形式：