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键合
Bonding
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摘要
键合是指将两块材料不通过任何粘接剂直接封接在一起。根据键合的方式,可分为静电键合和热键合两种。
作者
王岩
徐宇新(审核)
出处
《导航与控制》
2005年第4期30-30,共1页
Navigation and Control
关键词
热键合
静电键合
粘接剂
键合方式
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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导航与控制
2005年 第4期
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