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LIGA技术
LIGA Technology
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摘要
LIGA这一词来源于德文缩写,LI(Lithographie意即深度X射线刻蚀),G(Gulvanik意即电铸成型),A(Abformung意即塑料铸模),即深度X射线刻蚀、电铸成型、塑料铸模等技术相结合的一种综合性加工技术,它是进行非硅材料三维立体微细加工的首选工艺。LIGA技术制作各种微图形的过程主要由两步关键工艺组成。
作者
孙洪强
徐宇新(审核)
出处
《导航与控制》
2005年第4期34-34,共1页
Navigation and Control
关键词
LIGA技术
电铸成型
关键工艺
加工技术
微细加工
三维立体
技术制作
X射线
硅材料
微图形
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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导航与控制
2005年 第4期
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