LIGA技术

LIGA Technology

LIGA这一词来源于德文缩写，LI（Lithographie意即深度X射线刻蚀），G（Gulvanik意即电铸成型），A（Abformung意即塑料铸模），即深度X射线刻蚀、电铸成型、塑料铸模等技术相结合的一种综合性加工技术，它是进行非硅材料三维立体微细加工的首选工艺。LIGA技术制作各种微图形的过程主要由两步关键工艺组成。