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多光束干涉飞秒激光转写周期微结构 被引量:1

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摘要 利用多光束飞秒激光干涉将周期微结构从镀有金属薄膜的支撑基体转写到另一接受基体上,同时在支撑基体的 金属薄膜上形成了与接受基体上正负相反的周期微结构。同时光学及电子显微镜显示在支撑基体及接受基体上得到微米 量级的周期结构。
出处 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2005年第12期19-19,11,共2页 Laser & Optoelectronics Progress
基金 国家基金委杰出青年基金(No.50125208)上海市科委项目(No.04XD14018 No.04dz05112)资助。
  • 相关文献

参考文献5

  • 1Solak H H et al.. Vac. Sci. Technol. B,2003, 21:2883~2887
  • 2Kawamura K et al.. Appl. Phys. B,2000, 71:119~121
  • 3Kondo T et al.. Appl. Phys. Lett.,2001, 79: 725~727
  • 4Bohandy J et al.. J. Appl. Phys., 1986,60:1538~1539
  • 5Adrian F J et al.. J. Vac. Sci. Technol.B, 1987, 5:1490~1494

同被引文献10

引证文献1

二级引证文献2

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